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ＵＬＶＡＣ電離真空計（マルチイオンゲージ）ＳＨ２００-Ａ＋ＩＳＧ１セット（ＮＷ１６）（品番:SH200A-ISG1-NW16-SET）（注番3537438）・（送料別途見積り法人・事業所限定取寄）

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商品情報

179980 アルバックＵＬＶＡＣ　電離真空計（マルチイオンゲージ）ＳＨ２００－Ａ＋ＩＳＧ１セット（ＮＷ１６）〔品番:SH200A-ISG1-NW16-SET〕
[本体質量：650g]

分類》測定・計測用品》工業用計測機器》真空計
☆納期情報：在庫色(紫) メーカー直送品【法人限定＝会社名ご記入お願い致します。】

特長

●マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。
●従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラスです。
●PC／スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等ができます。
●真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現しました。
●フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
●大気圧から高真空領域(1×10^+5～1×10^-8Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)です。

用途

●半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に。
●インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に。
●高真空・超高真空装置の圧力測定に。

仕様	●測定圧力範囲(Pa)：1×10［［の５乗］］～1×10［［の－８乗］］ ●測定子：M-44(NW-16)/SWP-16 ●取合いフランジ：NW16 ●電源電圧(V)：100～240 ●表示：デジタル・仮数部2桁／指数部1桁(LED表示) ●レコーダー：0～10V／Log出力 ●外形寸法：48×70×96mm(表示機ISG1)/69×63×90mm(電離真空計ST200※コントローラー部)/φ40×51(ピラニ真空計SWU10-R※コントローラー部)
材質/仕上	●測定子フィラメント・白金(Pt)
セット内容/付属品	●SH200-A ●SWU10-R ●SH200用測定子M44 ●SWU10-R専用測定子SWP-16 ●SWU接続用ユニットケーブル0.5m
注意	●本製品を日本国外へ輸出する場合は、ご一報いただくと共に外国為替及び外国貿易管理法等、輸出管理の規定に従って手続きが必ず必要になります。
原産国（名称）	日本
JANコード
コロンコード	8740698004
コロン名称	ＵＬＶＡＣ　販売ポンプ
本体質量	650g

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